Silane (SiH₄)

Silane (SiH₄)

Gaz pyrophorique incolore ; s'enflamme spontanément au contact de l'air et est utilisé dans la technologie des semi-conducteurs.

Peut être mesuré avec :

✓ mesurable avec l'air-Q Science sur demande.

air-Qs, avec capteur pour

Silane (SiH₄)

Origine/présence :

Fabrication technique ; processus CVD, cellules solaires en couches minces.

Valeurs limites :

Les valeurs limites d'exposition professionnelle existent ; le danger primaire est l'inflammation/explosion spontanée.

Conséquences :

Risque de brûlure/explosion ; l'inhalation de produits de décomposition est irritante pour les voies respiratoires.

la sécurité :

Purges de gaz inerte, combustion/lavage des gaz d'échappement, détection de fuites.

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